각도분해 및 스냅샷 분광 타원편광 계측을 통해 박막 두께와 굴절률을 실시간으로 복원하는 연구

다파장 후초평면 데이터를 학습 기반으로 복원하고 광학 정보를 예측하는 신경망 역추정 연구

분광 반사·간섭 계측과 비전/딥러닝 기반 분석을 결합해 박막 두께 및 패턴 치수·결함을 계측하는 연구