광운대학교 전자재료공학과 조원주 교수
조원주 연구실은 반도체공정과 반도체 나노 공정을 기반으로 산화물 반도체 TFT, 실리콘 나노와이어 및 SOI 기반 ISFET/EGFET 바이오센서, 고유전율 감지막, 마이크로웨이브 저온 공정, 비휘발성 메모리와 차세대 기능성 소자를 연구하며, 고감도 센서와 CMOS 호환 반도체 플랫폼을 의료진단·환경센싱·지능형 전자소자에 적용하는 융합 연구를 수행하고 있다.
트리플 게이트 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
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에피택셜 실리콘 웨이퍼의 제조 방법