광전화학방법을 이용한 SiC 웨이퍼의 래핑(lapping) 방법 및 그 방법으로 제조된 SiC 쇼키장벽 다이오드

RIE(reactive ion etching)를 이용한 SiC 건식식각 공정

광전화학방법을 사용한 SiC산화와 식각 공정