여기서는 가시 주파수에서 소광계수(extinction coefficient)가 억제되도록 밴드갭을 최적화한 저손실 수소화 비정질 실리콘(hydrogenated amorphous silicon, a-Si:H)을 소개한다. a-Si:H의 밴드갭은 플라즈마 강화 화학기상증착(plasma-enhanced chemical vapor deposition) 공정의 증착 파라미터를 조절함으로써 조작하였다. 저손실 a-Si:H는 가시 스펙트럼 전 범위에서 빔 조향(beam-steering) 메타표면에 적용되었다. 빔 조향 메타표면은 각각 450, 532, 635 nm의 파장에서 측정 효율 42%, 65%, 75%를 달성하였다.

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