본 연구에서는 2D 축대칭 유체 모델을 0D 볼츠만-솔버 전자 에너지 분포 함수와 일관되게 결합하고, 전자-충돌에 의한 해리 및 여기, O(1D)의 에너지 전달(퀀칭) 반응, 이온-중성 교환, 벽 재결합을 포함하는 상세한 Ar/O₂ 화학 반응 세트를 구성하였다. 3–100 mTorr 및 O₂ 혼합비 10%–90% 범위에서 O(3P)와 O(1D)의 공간 분포 및 타깃 경계에서의 O(1D) 플럭스를 정량화하였다. O(1D)의 밀도와 플럭스는 주로 O₂의 해리성 여기(e + O₂( ${\text{X}}^3{\Sigma }_{\text{g}}^{-}$ ) → e + O(1D) + O(3P )) , 원자 산소의 전자 충돌 여기(e + O(3P) → e + O(1D) ), 및 O(1D)에서 O₂로의 에너지 전달(O₂ + O(1D) → O(3P) + O₂(b ${}^1{\text{Σ}}_{\text{g}}^{+}$ )) 에 의해 결정된다. 또한 O(1D)의 밀도와 플럭스는 (i) 압력에 의해 유도되는 수송 제한(감소된 확산 및 짧아진 평균자유행로), (ii) 조성 의존적 변화에 따른 순생성 대 O₂ 퀀칭 간의 이동, (iii) 상승된 기체 온도로 인한 낮은 O₂ 조건에서의 향상된 열속도 및 열확산에 의해 조절된다. 그 결과, 높은 압력과 높은 O₂ 밀도는 생산을 코일 하부 유도 스킨 영역으로 국한하고 타깃-경계 플럭스를 억제하는 반면, 낮은 O₂ 밀도에서는 더 약한 퀀칭과 더 높은 기체 온도가 수송 제한에 의한 감쇠를 부분적으로 상쇄한다. 이러한 결과는 O(1D)의 밀도와 플럭스를 예측적으로 제어하기 위해서는 수송, 에너지 전달 퀀칭의 명시적 처리, 그리고 상세 반응 세트 내에서의 열확산 효과에 대한 공동 처리가 필요함을 시사한다.

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