본 과제는 반도체 제조 공정 중 발생할 수 있는 불순물 농도를 실시간으로 분석하고 관리할 수 있는 일체형 저전력 고성능 극저온 고진공 배기장치를 개발하는 연구임. 이는 미세한 불순물에도 민감한 반도체 공정의 안정성과 수율을 높이는 데 필수적인 기술 개발에 해당함. 연구 목표는 반도체용 극저온 냉동기 개발 및 스퍼터와 이온주입기용 극저온 고진공 배기장치 설계/제작임. 또한, 저전력 헬륨 컴프레서와 스마트 전력제어 컨트롤시스템 개발, 진공환경용 산소 프로브 확보 및 테스트, 극저온 냉동기 구동용 스테핑모터 설계/제작 등을 포함함. 핵심 연구 내용은 이러한 목표 달성을 위한 시스템 및 핵심 부품의 설계, 제작, 최적화 과정임. 기대 효과는 공정 내 불순물 실시간 감시를 통한 스퍼터 및 이온주입 공정 안정성 증가 및 생산성 향상임. 더불어 해외 경쟁사 수준의 국산 극저온 고진공 배기장치 개발로 국내 반도체 장비 산업 경쟁력 강화와 해외 시장 진출이 가능하며, 다양한 신산업 분야에 활용될 것으로 전망됨.