플라즈마 환경에서 반응종의 수송과 표면 반응을 연계해 ALD 공정 거동을 예측하고 챔버 설계 및 공정 제어 변수의 영향을 규명하는 연구

DFT 계산과 머신러닝 전략을 결합해 수소발생·산소발생 전기촉매의 안정성과 성능을 예측하며 신규 조성을 탐색하는 연구

박막 코팅과 표면 텍스처를 기계적 마모 조건에서 평가하여 마찰·내마모 메커니즘을 규명하고 공정 설계 변수를 도출하는 연구