공정내 불순물 농도를 실시간 분석 가능한 일체형 저전력 고성능 극저온 고진공 배기장치 개발

산업통상자원부

2024년 - 2024년 12월

장비 최적화를 위한 simulation DB 개발

과학기술정보통신부(2017Y)

2023년 11월 - 2024년 10월

[이관과제] 장비 최적화를 위한 simulation DB 개발

과학기술정보통신부(2017Y)

2022년 09월 - 2022년 10월

반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증

한국핵융합에너지연구원

2021년 11월 - 2022년 10월