ㅇ스퍼터용 8인치 극저온 고진공 배기장치 수요기업 평가ㅇ이온주입기용 12인치 극저온 고진공 배기장치 수요기업 평가ㅇ저전력 헬륨 컴프레서 개발ㅇ스마트 전력제어 및 데이터로깅 가능한 컨트롤시스템 개발ㅇ수분 및 산소 트랜스미터 통합 모듈 개발ㅇ극저온 냉동기 구동용 스테핑모터 제작 및 실장평가ㅇBaffle/array 최적화를 위한 molecular flow sim...

ㅇ반도체용 극저온 냉동기 개발ㅇ스퍼터용 8인치 극저온 고진공 배기장치 설계/제작ㅇ이온주입기용 12인치 극저온 고진공 배기장치 설계/제작ㅇ저전력 헬륨 컴프레서 설계ㅇ스마트 전력제어 및 데이터로깅 가능한 컨트롤시스템 설계ㅇ진공환경 용 산소 프로브 및 트랜스미터 확보ㅇ산소 프로브 및 트랜스미터 진공 사용 테스트ㅇ극저온 냉동기 구동용 스테핑모터 설계 및 제작ㅇBa...

본 과제는 반도체 제조 공정 중 발생할 수 있는 불순물 농도를 실시간으로 분석하고 관리할 수 있는 일체형 저전력 고성능 극저온 고진공 배기장치를 개발하는 연구임. 이는 미세한 불순물에도 민감한 반도체 공정의 안정성과 수율을 높이는 데 필수적인 기술 개발에 해당함. 연구 목표는 반도체용 극저온 냉동기 개발 및 스퍼터와 이온주입기용 극저온 고진공 배기장치 설계/제작임. 또한, 저전력 헬륨 컴프레서와 스마트 전력제어 컨트롤시스템 개발, 진공환경용 산소 프로브 확보 및 테스트, 극저온 냉동기 구동용 스테핑모터 설계/제작 등을 포함함. 핵심 연구 내용은 이러한 목표 달성을 위한 시스템 및 핵심 부품의 설계, 제작, 최적화 과정임. 기대 효과는 공정 내 불순물 실시간 감시를 통한 스퍼터 및 이온주입 공정 안정성 증가 및 생산성 향상임. 더불어 해외 경쟁사 수준의 국산 극저온 고진공 배기장치 개발로 국내 반도체 장비 산업 경쟁력 강화와 해외 시장 진출이 가능하며, 다양한 신산업 분야에 활용될 것으로 전망됨.

4차 산업혁명 구현기술인 IoT, 빅데이터 및 인공지능 등의 기술 적용을 통해 데이터의 분석과 활용을 극대화한 반도체제조 생산성 향상을 위한 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 <공정 데이터의 정보화> ▪ 스마트 플라즈마 진단 센서 및 데이터 기술 ▪ 표준화된 센서 신뢰성 평가 방법 및 평가 테스트베드 구축 ▪ 플라즈마 정보 인자화 기술 개발 ▪ 장비/공정 해석용 고신뢰성 플라즈마 데이터베이스 개발 ▪ 차세대 2차원 나노소재 기반 플라즈마 공정 데이터 개발 <공정 장비의 지능화> ▪ 머신러닝 기반 플라즈마 장비/공정 해석 기술 개발 ▪ 플라즈마 가상 계측 기술 개발 ▪ 플라즈마 공정장비 디지털 트윈 기술 개발 <공정장비 실증> ▪ 플라즈마 정보 인자화를 위한 상용화된 OES 분광계 ▪ 플라즈마 정보 인자화를 위한 상용화된 VI 진단계 ▪ 플라즈마 장비 APC 제어기 ▪ 플라즈마장비 상태 FDC 알고리즘 ▪ 장비 플라즈마 통합 DB ▪ 플라즈마 공정장비 지능화 통합 시스템 검증 ▪ 플라즈마 공정장비 지능화 테스트베드 구축