도플러 라이다용 파장 조절 및 2 파장 발진 가능한 이중 공진기 구조 단일 종모드 다이오드펌핑 알렉산드라이트 레이저 연구
1. 최종 연구 목표 : 파장 조절 및 2 파장 발진 가능한 이중 공진기 구조 단일 종모드 다이오드펌핑 알렉산드라이트 레이저 연구 2. 세부 연구 목표 가) 파장 선택 가능한 단일 종모드 다이오드펌핑 알렉산드라이트 레이저 연구 - 파장 가변 다이오드펌핑 알렉산드라이트 레이저 발진 연구 : 목표출력 >10 W, 가변 파장 범위: >30 nm ...
알렉산드라이트 레이저
다이오드펌핑 고체 레이저
Q-스위칭 펄스 레이저
도플러 라이다
2
협동|
2021년 8월-2024년 12월
|4,678,800,000원
300W 500펨토초 레이저 및 50um 웨이퍼 절단 장비 개발
본 과제는 매우 짧은 시간(펨토초) 동안 강력한 빛을 내는 정밀 레이저 기술을 활용하여, 머리카락보다 얇은 50마이크로미터(um) 두께의 반도체 웨이퍼를 정교하게 절단하는 장비를 개발하는 연구임.
연구 목표는 300W급 펨토초 레이저 시작품, 자외선 파장변환 모듈, 고정밀 웨이퍼 다이싱 장비 및 선형 편광 고반복률 펨토초 레이저 시스템 개발임. 핵심 연구 내용은 300W급 레이저 시작품 개발을 위한 시드레이저 제작, 다단증폭 및 펄스압축 기술 최적화임. 또한 파장변환 시뮬레이션 기반 파장가변 모듈 개발과 고속 스테이지 연동 웨이퍼 다이싱 장비 제작, 광학시스템 최적화를 진행함. 선형 편광 고반복률 펨토초 레이저 시스템 구축도 주요 내용임. 기대 효과는 다단 증폭 및 파장가변 모듈 기술 확보를 통해 비열, 초미세, 초고속, 고신뢰성 산업용 레이저 가공 광원으로서 활용될 전망임. 이는 수입 의존도가 높은 레이저 시장의 수입대체 효과를 극대화하고 국가 경쟁력 증진에 크게 기여할 것으로 기대됨.
[4차년도 목표]ㅇ 300 W급 펨토초 레이저 시작품 성능 개선ㅇ 레이저 신뢰성 평가ㅇ 레이저 웨이퍼 다이싱 장비 실증 o 고반복률 펨토초 녹색 레이저 시스템 개발 - 개발한 고반복률 펨토초 레이저를 사용하여 제2고조파 변환을 통한 고반복 펨토초 녹색 레이저 개발 - 파장 : 515 ~ 532 nm, 반복률 : > 1 GHz, ...
본 과제는 300W급 고출력과 500펨토초의 극초단 펄스를 갖는 레이저를 개발하고, 이를 활용하여 50um 두께의 초박형 웨이퍼를 정밀하게 절단하는 장비를 개발하는 연구임. 이는 반도체 및 첨단 산업 분야의 미세 가공 기술 발전에 필수적인 기술 개발에 해당함.
연구 목표는 15~50W급 극초단 시드레이저, 200W 및 300W급 다단증폭 모듈, 그리고 200W급 펨토초 레이저 시작품 제작에 있음. 또한, 다이강도 350MPa, 가공선폭 25um 이하의 레이저 웨이퍼 다이싱 공정 및 고반복률 펨토초 광섬유 레이저 시스템 개발을 목표로 함. 핵심 연구 내용은 모드잠금 펨토초 시드레이저 개발 및 최적화, 200W급 펨토초 레이저 시작품 제작을 위한 다단증폭 시스템 최적화 및 출력 특성 확보임. 더불어 1,000mm/s급 고속스테이지 적용 레이저 웨이퍼 다이싱 공정 개발과 멀티빔 광학시스템 평가, 그리고 고반복률 펨토초 광섬유 레이저 시스템 개발을 위한 기술 조사를 포함함. 기대 효과는 개발된 펨토초 레이저 기술을 반도체 웨이퍼 공정뿐 아니라 비열/초미세/초고속/고신뢰성 산업용 레이저 가공 광원으로 확대 적용하는 것임. 이를 통해 반도체, 디스플레이 등 광범위한 국내외 시장을 개척하고 관련 산업 경쟁력 강화에 크게 기여할 것으로 전망됨.
광소용돌이 레이저빔은 일반 가우시안 레이저빔과는 달리 링 형태의 빔 프로파일을 가지며 궤도 각운동량을 보유하고 있어 학문 산업, 군사 분야 등 다양한 분야에서 많은 관심을 받고 있는데, 최근 들어 고차 궤도 각운동량을 가지는 광소용돌이 레이저빔은 중력파 간섭계와 같은 정밀 간섭계, 양자 광학 및 암호 통신 등의 응용에서 새로운 광원으로 주목받고 있다. 더 나아가 광소용돌이 레이저 빔은 선형/원형/타원 편광 뿐 아니라 방사형/방위형 편광을 가질 수 있는데, 이는 드릴링, 커팅, 소결 등의 레이저 가공시 선형 편광빔에 비해 가공의 정밀도가 높아지고 가공 품질이 크게 향상된다는 보고가 있어 마이크로 가공, 유리 가공, 3차원 가공 등 정밀 고속 가공에 주목받고 있다. 본 연구는 다양한 궤도 각운동량 차수를 가지는 방사형/방위형 편광 광소용돌이 레이저빔의 생성과 특성, 편광과 차수와의 상관관계, SCF를 사용한 MOPA 시스템 구축을 통한 출력 증강 및 펄스 작동, 그리고 이를 이용한 비선형 광학 현상을 연구하는 것을 목표로 한다. 우선 1차년도에서는 다양한 궤도 각운동량 차수, 특히 고차 궤도 각운동량 광소용돌이 레이저 빔을 생성 후 빔의 전파 특성을 조사함과 동시에 방사형/방위형 편광을 유도하고, 궤도 각운동량 차수와 방사형/방위형 편광 특성과의 상관 관계를 조사한다. 아울러 레이저빔이 아닌 가간섭성 길이가 매우 짧고 선폭 조절이 가능한 광섬유 형광빔을 이용하여 광소용돌이 빔을 생성해보고 그 특성에 대해 연구하고자 한다. 2차년도에서는 고출력 고효율 출력 증강 소자로 최근 많은 관심을 받고 있는 단결정 광섬유(SCF)를 사용하여 MOPA 시스템을 구축하고 방사형/방위형 편광을 가지는 광소용돌이 레이저빔의 출력 증강 및 펄스 작동을 구현하고자 한다. 그리고 3차년도에서 2차년도에서 구축한 고출력 광소용돌이 레이저빔을 사용하여 파장 변환을 비롯한 여러 가지 비선형 광학 현상을 유도하고, 이를 바탕으로 광소용돌이 레이저빔과 물질의 상호 작용 및 비선형 광학 현상에 대해서 이론적, 실험적으로 연구하고자 한다.
본 연구 결과는 최근 들어 관심이 점점 증대되고 있는 방사형/방위형 편광 및 광소용돌이 레이저 빔의 생성 및 특성에 대한 이해를 돕고, 고출력 레이저 빔을 얻을 수 있는 가능성을 알아봄과 동시에 비선형 광학 연구 및 물질과의 상호 작용에 대한 기초 연구로 활용될 수 있어, 향후 방사형/방위형 편광 광소용돌이 레이저빔을 이용한 새로운 연구 및 응용 분야를 개척하기 위한 기반이 될 수 있을 것으로 기대한다.