ㅇ Mnit급 청색 직진 광원을 위한 광결정 나노로드 구조 설계기술 개발 - 레이징을 위한 GaN 나노로드 LED 광결정 구조 설계 - Mnit급 수직 광방출 청색 광원을 위한 전극 구조 및 소자 배열화 모델링 ㅇ 청색 직진 광원용 GaN 나노로드 어레이 제조기술 연구 - 박막 LED의 수직 식각에 의한 초균일 나노로드 LED 제조 - 패시베이션에 의한 나노로드 LED 효율 향상 - 발광 효율 향상을 위한 소재 및 구조 탐색 ㅇ 청색 직진형 나노로드 LED 픽셀화 및 어레이 기술 개발 - GaN 나노로드 패시베이션 기술 확보 - 청색 직진형 5 um 급 나노로드 LED 픽셀화 기술 확보 - 청색 직진형 나노로드 LED 픽셀 10 x 10 어레이 기술 확보 ㅇ 직진성-고휘도-고해상도 화소용 페로브스카이트 색변환 광결정 레이저 광학구조 개발 - 2차원 광결정 구조 기반 고직진성 결함모드 페로브스카이트 레이저 구조 개발 - 픽셀 발광 영역이 구분된 이중 포토닉 밴드갭 기반 레이저 광학 구조 개발 - 페로브스카이트 나노 결정 및 광결정 레이저의 광학 특성 평가 ㅇ 고굴절률 페로브스카이트 색변환 나노입자 합성을 위한 리간드 치환기술 및 코어-쉘 구조 개발 - 고굴절률 페로브스카이트 적/녹 색변환 나노입자 합성 - 높은 색변환 효율과 고색순도 페로브스카이트 적/녹 색변환 나노입자 합성 ㅇ 고직진성-고휘도-고해상도 화소용 페로브스카이트 색변환층의 나노구조화 공정 기술 개발 - 페로브스카이트 색변환층의 나노임프린팅을 통한 나노구조화 기술 - 페로브스카이트 색변환층의 고해상도 픽셀 패터닝

ㅇ 초실감 XR 디스플레이 구현을 위한 Mnit급 GaN 나노로드 광결정 청색 광원 및 페로브스카이트 색변환 나노소재 원천기술개발 - 초미세(픽셀 면적 5×5 um2 이하), 고직진(Radiation angle ±5o 이내), 초고휘도(1 Mnit 이상), 고색순도(FWHM 3 nm 이하) 청색 광원 개발 - 초미세(5×5 um2 이하) 패터닝이 가능하고...

■ 주제별 연구 내용 ? 컬러필터-프리 적층형 수광소자 형성을 위한 이종 소재 적층 공정기술 개발 ? 액상 및 기상 공정기반의 수직 적층형 수광소자 어레이 공정기술 개발 ? 산업 연계성을 고려한 RGB 수직 적층형 수광소자 어레이의 소자 구조 및 공정 설계 ? RGB 수직 적층형 수광소자 어레이의 신호처리 기술 개발 ■ 연차별 연구 내용 ? 1차년도 - 액상 공정 기반 R/G/B 단일 이미지센서 개발 - 액상 공정기반 페로브스카이트 박막의 위치선택적 패터닝 기술 개발 - 산업 연계성을 고려한 이종 적층형 수광소자의 구조 및 공정 설계 - Single Layer RGB 단위 화소 신호취득 회로 설계 ? 2차년도 - 기상 공정 기반 R/G/B 단일 이미지센서 개발 및 이종 적층 이미지센서 개발 - 기상 공정기반 페로브스카이트 박막의 위치선택적 패터닝 기술 개발 - 산업 연계성을 고려한 수직 적층형 수광소자의 구조 및 공정 설계 - 단위 화소 회로 최적화 및 어레이용 Column Readout Circuit 설계 ? 3차년도 - 초소형 R/G/B 단일 이미지 센서 개발 - 고감도, 고색재현성 RGB 수직 적층형 수광소자 어레이 개발 - 양산제조공정을 고려한 적층형 수광소자의 구조 및 공정 설계 - 4×4×3(RGB) Column Readout Circuit 설계 및 이미지 신호 획득 시스템 제작

본 과제는 1~10 THz 대역용 이미지센서를 개발해 160x1 및 160x120 THz 영상을 포착하는 무인 검사용 THz 카메라 모듈 기반기술을 확보하는 연구임. 연구목표는 160x1 획득장치, ACNB 최적화 어레이 셀 및 ACNB 160x120 2D-Array Surface-Micromachining 공정, ACNB용 ROIC 설계, VO2 나노와이어 기반 단위 셀 구현, THz 센서/카메라 평가시스템 구축임. 핵심연구내용은 ACNB 전자기-구조-공정 최적화, 제조 공정/Reticle 설계, 2D 어레이 특성평가 및 VO2 선택 성장 최적화임. 기대효과는 고감도 초소형 THz 카메라 모듈 및 인체 유해성이 적은 비파괴 내부 검사 기술 확보로 보안·의료·국방 등 산업 확장 효과임.