세종대학교 전자정보통신공학과 우형수 교수
세종대학교 AI융합전자공학과 연구실은 나노전계방출소자 및 탄소나노튜브(CNT) 기반 전기적 특성 개선 연구를 중심으로 첨단 반도체 소자와 이미지 센서 기술 개발에 주력하고 있습니다. 본 연구실은 나노미터 크기의 전계방출소자와 CNT 소재의 우수한 특성을 활용하여 차세대 디스플레이, 진공 전자소자, 고성능 센서 등 다양한 응용 분야에 적용 가능한 핵심 기술을 개발하고 있습니다. 특히, 탄소나노튜브의 성장 조건, 표면 처리, 금속 코팅 등 다양한 공정 변수를 정밀하게 제어하여 전계방출 특성을 극대화하는 연구를 수행하고 있습니다. 플라즈마 화학기상증착법, 촉매 두께 조절, 플라즈마 전처리, 금속(티타늄 등) 코팅 등 다양한 방법을 통해 CNT의 밀도, 길이, 표면 상태를 최적화함으로써 방출 전류의 증가와 안정성 향상을 달성하고 있습니다. 이러한 연구는 전계방출 디스플레이(FED)와 진공 마이크로전자소자 등 산업적 응용에 직접적으로 연결됩니다. 반도체 소자 분야에서는 이미지 센서, DRAM, 커패시터 등 다양한 소자의 설계와 공정 기술 개발이 이루어지고 있습니다. 고감도, 저전압, 저소음 이미지 센서 개발을 위한 회로 설계와 소자 구조 최적화, DRAM의 데이터 유지 시간 향상, 고집적 커패시터 설계 등 첨단 반도체 공정 기술이 연구되고 있습니다. 또한, 금속 실리사이드, 산화막, 절연막 공정 기술을 활용하여 소자의 신뢰성, 집적도, 전기적 특성을 개선하는 연구도 활발히 진행되고 있습니다. 연구실은 다수의 논문 발표와 특허 출원, 국내외 학회 발표, 산학협력 경험을 바탕으로 반도체 및 나노소자 분야에서 높은 전문성과 혁신성을 인정받고 있습니다. 이러한 연구 성과는 차세대 디스플레이, 고성능 전자소자, 모바일, IoT 센서 등 다양한 산업 분야에서 중요한 역할을 하고 있습니다. 앞으로도 본 연구실은 나노소자와 반도체 기술의 융합을 통해 미래 전자공학의 발전을 선도하고, 실용화 가능한 혁신 기술 개발에 지속적으로 기여할 것입니다.
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