최근 대기오염과 미세입자(particulate matter)가 악화됨에 따라 공기 환경을 모니터링할 수 있는 플랫폼의 중요성이 부각되고 있다. 특히 대기오염물질 중 질소이산화물(nitrogen dioxide, NO2)은 이차 미세입자 물질을 생성할 수 있을 뿐 아니라 다수의 유독성 가스를 유도할 수 있는 독성 가스이다. 이러한 NO2 가스를 낮은 농도에서 검출하기 위해 우리는 마이크로웨이브 플라즈마 강화 화학기상증착(microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition, MPECVD)과 스퍼터를 이용하여 GNWs/NiO-WO3/GNWs 이종구조 기반 가스 센서를 제작하였고, 상온에서 10–50 ppm 범위에서 NO2 검출 특성을 확인하였다. 감지층의 형태 및 탄소 격자 특성은 주사전자현미경(field emission scanning electron microscopy, FESEM)과 라만 분광분석을 통해 조사하였다. 가스 검출 측정에서 NO2 가스 농도에 따른 저항의 음의 변화가 기록되었다. 또한 5–7 ppm과 같은 낮은 농도에서도 반응하였으며, 98%를 초과하는 우수한 회복 특성을 보였다. 더불어 33% 및 66%의 습도에 대해 반응성이 감소하는 변화도 나타났다.

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