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폴리피롤 및 고체전해질로 구동되는 액추에이터를 갖는 마이크로 펌프 구조의 제작

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MELO-Si 가속도 센서의 제작과 반응에 관한 연구

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이종접합 가스센서의 가스감지기구

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CuO/ZnO 이종접합 가스센서의 가스감지 기구

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실리콘 선택적 기상 성장을 이용한 마이크로 센서에 응용되는 구조물 제조법