31
전기화학적 DNA chip의 PCB제작
중소기업청
2004년 05월 - 2005년 04월
32
체내 삽입형 진단소자용 저전압 마이크로 미러 어레이와 영상 취득용 광학계
과학재단
2003년 09월 - 2006년 08월
33
신경 칩을 이용한 신경보철 시스템의 개발
교육과학부
2003년 03월 - 2009년 02월
34
MOEMS 소자 Simulation
한국과학기술연구원
2003년 - 2003년 12월
35
전기화학적 측정법을 이용한 질병 진단용 DNA chip 시스템 개발 연구
한국보건산업진흥원
2001년 12월 - 2002년 11월
36
Micromolding 기반기술 개발
한국과학기술원
2000년 12월 - 2001년 06월
37
MEMS 기술을 이용한 Optical Switch 개발
한국과학재단
2000년 09월 - 2001년 08월
38
선택적 성장을 이용한 실리콘 마이크로머시닝 공정기술 개발에관한 기초 연구
정보통신연구진흥원
1998년 07월 - 1999년 06월
39
MEMS MPC를 위한 poly-si 구조의 stiction 방지와 RIE연구
교육인적자원부
1997년 08월 - 1998년 07월
40
Laser에 의한 표면 마이크로 머시닝 3D 공정기술 개발과 마이크로 센서, 마이크로 메카트로닉스에의 적용
한국학술진흥재단
1996년 09월 - 1997년 08월