프레넬 마이크로렌즈 및 그 제조방법

광 자극을 위한 신경 탐침 모듈 및 그를 구비한 신경 탐침 시스템

전력 발생 장치

초소형 마이크로 빔 스플리터와 이의 제조방법 및 초소형 마이크로 빔 스플리터가 포함된 초소형 마이켈슨 간섭계

신경 탐침부 및 그를 구비한 신경 탐침 인터페이스

광학계 기반 화학 반응 감지 장치

에너지 하베스트 장치

듀얼 백플레이트를 갖는 MEMS 마이크로폰 및 제조방법

습식 식각을 이용한 수직 구조물 제작 방법

자성유체를 사용한 에너지 하베스트 장치