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Article
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·
인용수 0
·
2025
Liquid particle monitoring system utilizing aerosol metrology and data processing algorithm: chemical mechanical polishing slurry application
Seongmin Cho
,
Yongjae Cho
,
Yusun Lee
,
Seungjae Gwak
,
Heedo Seo
,
Su Bin Min
,
Young June Won
,
Jung-Hun Noh
,
Handol Lee
,
Dong-Bin Kwak
IF 6.1 (2025)
Measurement
키워드
Aerosol
HYDROSOL
Particle-size distribution
Particle size
Slurry
Particle counter
Polishing
Metrology
타입
Article
IF / 인용수
6.1 / 0
원문
https://doi.org/10.1016/j.measurement.2025.119624
게재 연도
2025