|이한돌 교수 연구실
홈
연구 영역
기본 정보
논문·특허
과제
구성원
Article|
·
인용수 0
·2025
Liquid particle monitoring system utilizing aerosol metrology and data processing algorithm: chemical mechanical polishing slurry application
Seongmin Cho, Yongjae Cho, Yusun Lee, Seungjae Gwak, Heedo Seo, Su Bin Min, Young June Won, Jung-Hun Noh, Handol Lee, Dong-Bin Kwak
IF 5.6 (2025) Measurement
키워드
AerosolHYDROSOLParticle-size distributionParticle sizeSlurryParticle counterPolishingMetrology
타입
Article
IF / 인용수
5.6 / 0
원문
https://doi.org/10.1016/j.measurement.2025.119624
게재 연도
2025