RnDCircle Logo
박성훈 연구실
세종대학교 반도체시스템공학과 박성훈 교수
산화물 반도체 가스센서
나노섬유 기반 감지소재
다공성 나노구조
홈
연구 영역
기본 정보
논문·특허
과제
구성원
홈

박성훈 연구실

세종대학교 반도체시스템공학과 박성훈 교수

박성훈 연구실은 반도체시스템공학과 관점에서 반도체 박막 및 나노선 합성 공정을 기반으로 센서 소자를 설계하고 제작하는 연구를 수행합니다. 특히 산화물 반도체의 에너지 밴드와 표면구조를 미세구조 제어로 연결하여, 다공성 나노구조에서의 흡착 반응과 전하 이동 특성을 분석합니다. Pd 장식, Au 도핑, Co3O4 장식 및 In2O3·SnO2·ZnO·TiO2 간 이종 계면을 활용해 수소, NO2, VOC 등 표적 가스의 선택적 감지를 목표로 하며, UV 활성화 기반 상온 동작과 센서 모듈화 가능성을 함께 검토합니다.

산화물 반도체 가스센서나노섬유 기반 감지소재다공성 나노구조이종접합 센서소재UV·가시광 활성화 센싱
대표 연구 분야
연구 영역 전체보기
다공성 Pd-장식 산화물 나노구조 기반 수소 가스 센싱 연구 thumbnail
다공성 Pd-장식 산화물 나노구조 기반 수소 가스 센싱 연구
Porous Pd-decorated oxide nanostructure-based hydrogen gas sensing research
연구 분야 상세보기
UV 활성화 및 이종 계면 제어를 통한 NO2 선택적 검출 연구 thumbnail
UV 활성화 및 이종 계면 제어를 통한 NO2 선택적 검출 연구
UV activation and heterointerface engineering for selective NO2 detection research
연구 분야 상세보기
UV(및 가시광) 기반 상온 VOC·아민 가스 센서용 다공성 산화물 이종결합 연구 thumbnail
UV(및 가시광) 기반 상온 VOC·아민 가스 센서용 다공성 산화물 이종결합 연구
UV(visible) activated room-temperature VOC/amine gas sensing using porous oxide heterostructures res
연구 분야 상세보기
연구 성과 추이
표시된 성과는 수집된 데이터 기준으로 산출되며, 일부 차이가 있을 수 있습니다.
주요 논문
5
논문 전체보기
1
Article
|
인용수 32
·
2023
Fabrication of selective and highly sensitive triethylamine gas sensor using In2O3–SnO2 hollow nanospheres in room temperature activated by UV irradiation
Zhicheng Cai, Sunghoon Park
IF 6.2 (2023)
Journal of Materials Research and Technology
획기적인 해결책으로서 상온( RT, 25 °C) 가스 센서는 기존 센서의 복잡성을 해결하면서 성능 향상을 기대하게 한다. 수열합성 및 열 하소 공정을 통해 합성된 SnO2 중공 나노스피어(HNs)는 감지 성능을 강화하기 위해 In2O3 성분과 결합된다. 이 센서는 UV 광 조사 하에서 삼에틸아민(TEA) 가스를 검출하며, 이는 고유한 표면 특성과 SnO2–SnO2 및 SnO2–In2O3 동종·이종접합에 기인한다. 그 결과 TEA 가스에 대한 비할 데 없는 민감도(Ra/Rg = 34–100 ppm)와 탁월한 검출한계(3.98 ppt)를 보이며, 이는 광이온화된 O2– 이온의 높은 반응성에 의해 설명된다. 본 연구는 포괄적인 분석을 바탕으로 뒷받침되는 우수한 센서를 제안하고, 성능 향상 및 그 근거가 되는 메커니즘을 보여준다. In2O3가 첨가된 SnO2 HNs를 기반으로 최적화된 센서 설계는 뛰어난 선택성, 저농도 TEA 가스에 대한 패턴 인식, UV 조사 하에서의 습도 저항성과 신뢰성을 아울러 제공한다.
https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2023.09.049
Materials science
Triethylamine
Calcination
Irradiation
Hydrothermal circulation
Fabrication
Selectivity
Heterojunction
Humidity
Detection limit
2
Article
|
·
인용수 30
·
2023
Improved SnO2 nanowire acetone sensor with uniform Co3O4 nanoparticle decoration
Zhicheng Cai, Sunghoon Park
IF 7.4 (2023)
Journal of environmental chemical engineering
https://doi.org/10.1016/j.jece.2023.111504
Acetone
Nanowire
Materials science
Nanoparticle
Nanotechnology
Hydrothermal circulation
Heterojunction
Chemical engineering
Optoelectronics
Chemistry
3
Article
|
·
인용수 39
·
2023
Synergistic effect of Pd and Fe2O3 nanoparticles embedded in porous NiO nanofibers on hydrogen gas detection: Fabrication, characterization, and sensing mechanism exploration
Zhicheng Cai, Ji‐Ho Park, Sunghoon Park
IF 8 (2023)
Sensors and Actuators B Chemical
https://doi.org/10.1016/j.snb.2023.133836
Non-blocking I/O
Electrospinning
Materials science
Chemical engineering
Nanofiber
Porosity
Nanoparticle
Heterojunction
Selectivity
Microstructure
최신 정부 과제
4
과제 전체보기
1
2022년 9월-2025년 2월
|197,108,000원
모바일 플랫폼 적용을 위한 이종 결합 나노입자의 에너지 밴드 및 표면구조 조절을 통한 저전력 녹색광 활성화 상온 가스 센서 모듈 제작
본 연구 과제에서는 모바일 기기 적용의 고신뢰, 저전력의 초소형 가스 센서 모듈의 제작을 위한 에너지 밴드 및 표면 구조 변경을 수반하는 산화아연 나노물질 기반 이종간 결합 나노소재를 합성하며, 이의 방법론을 제시하고자 한다.(세부목표)- 고효율 고집속 LED 제작: FDTD 시뮬레이션과 ray tracing 시뮬레이션을 통한 520 nm의 녹색 발광 LE...
상온동작 가스 센서
녹색광 감응형 센서
3종 가스 검출 센서
통합형 센서 모듈
모바일 및 스마트 기기 적용
2
주관|
2021년 6월-2022년 5월
|47,585,000원
자외선 조사를 통한 ZnO 나노입자 기반 단일소자 다중가스 검출 센서 제작
- ZnO 나노입자 기반의 복합구조 나노 감지재 합성 → 200 ~ 300 ℃ 영역에서 최적의 감응 특성을 나타냄과 동시에 380 nm 영역의 파장을 갖는 UV에 반응하는 반도체 특성을 갖는 ZnO 나노입자의 합성 → 특정 가스에 대한 나노입자의 감지 특성을 향상시키기 위해 산화물 나노입자 기능화한 감지재 형성 → 나노입자 감지재를 활성화하여 가스의 흡착 특성을 향상시킬 수 있도록 noble metal 기능화 - Sensing system 구축 → 온도와 UV 조사를 동시에 컨트롤 할 수 있는 microheater 실장형 interdigital electrode (IDE) 센서 기판을 제작 → 고온의 sensing 환경에서 UV를 조사하며 가스를 검출할 수 있는 system 구축 → 검출 온도와 UV 조사 강도, 파장을 조절할 수 있는 system 구축 → 원활한 sensing measurement가 가능하도록 5채널 이상 동시 센싱이 가능한 system 구축 - UV 조사 유무에 따른 가스 검출 특성 측정 → UV 비조사 환경에서 최적의 검출 특성을 나타내는 가스의 종류와 작동 온도 파악 → 해당 온도에서 UV를 조사했을 때, 최적의 특성을 나타내는 가스의 종류 파악 → 최적의 검출 반응을 나타내는 UV의 파장과 감도를 파악하고 UV 비조사 환경에서의 최적의 가스와의 선택성 측정 ● 상기 연구 개발 단계를 통합하여 본 연구에서는 온도와 자외선 조사를 융복합하여 단일 감지재로 2종 이상의 가스를 감지하는 센서를 제작하고자 함. - 기 발표된 연구에서 자외선 감응형 나노감지재는 고온환경과 자외선 조사 환경 하에서 서로 다른 가스 검출 특성을 나타낸 것으로 확인됨. - 이러한 두 가지 검출 방법을 조합하여 가스를 검출하면, 2종 이상의 상이한 가스의 검출이 가능한 단일 소자 센서를 제작할 수 있을 것으로 판단되나, 아직 이와 같은 연구 결과는 학계에 보고된 바 없음. - 따라서, 본 연구에서는 나노감지재가 최적의 검출 특성을 나타내는 온도를 찾아낸 후, UV 조사 전후의 가스 검출 특성을 연구하고자 함. - 상온 영역의 UV 조사시 UV가 없는 환경에서는 대부분 아무런 가스도 검출되지 않으나, 고온 환경에서는 상온과 달리 UV가 없는 환경에서도 특정 가스가 검출되며, UV 조사시 다른 검출 반응 특성이 나타나게 됨을 예상할 수 있음. - 센서의 작동온도 제어는 안정화시 많은 시간이 소모되나, UV의 경우 1초 이내의 매우 빠른 속도로 안정화가 가능하므로, 최적의 온도 조건에서 UV를 on/off 하며 가스 검출시 2종 이상 가스를 매우 높은 효율로 검출이 가능함. - 또한, 이러한 검출 특성을 극대화하고, 선택성을 높이기 위하여 감지재 표면에 MOS 나노입자와 귀금속 나노입자를 기능화 하였음. ● 본 연구를 위해 우리 연구팀에서는 고온 작동형 센서 감지 소자 및 UV 감응형 센서 감지소자 기술을 이미 확보했고, 이를 측정하기 위한 측정 시스템 역시 구축되어 있으므로, 효율적이고 즉각적인 연구가 가능할 것으로 기대됨. - 현재 ZnO 나노입자 기반 감지재를 통한 고온 센서 및 UV조사 상온 센서에 관한 연구는 상당히 진행되어 선행 연구 결과로서 SCI 논문 (JCR Rank. 상위 10 % 이내)에 게재된 바 있음. - 센서 검출 시스템은 UV 조사형과 고온 검출형 측정 시스템으로 3채널 검출이 가능하도록 제작되어 있으며, 현재 동시 검출이 가능한 5채널 시스템으로 modify중에 있음. - 본 연구팀은 머시닝센터(MCT) 및 3D printer 등을 보유하고 있으며, 이를 통해 다양한 기능이 부여된 시스템을 즉각적으로 구축할 수 있을 것으로 판단됨.
ZnO 나노입자 기반 복합구조 가스 센서
UV 조사에 의한 소자 활성화 기술
2종 이상 다종 가스 검출
5채
3
주관|
2018년 7월-2021년 12월
|4,234,000,000원
광에너지 활성 세라믹 소재 기반 상온구동 다종 가스센서 기술 개발
본 과제는 빛 에너지를 통해 활성화되는 세라믹 소재를 사용하여, 상온에서도 여러 종류의 가스를 동시에 감지할 수 있는 고성능 가스센서 기술을 개발하는 연구임. 연구 목표는 신뢰성 있는 UV-LED 기반의 3종 이상 다종가스 감지용 센서 패키지 및 모듈을 제작하고, 감지재 구조 및 UV-LED 특성 최적화를 통해 가스 선택성을 높이는 데 있음. 또한, 간접천이형 감지재 복합구조 센서와 최적화된 Array 소자 및 SoC 소자 제작 및 특성 평가를 포함함. 핵심 연구 내용은 UV-LED 기반 일체형 다종가스 감지 센서 패키지 제작으로 감지 특성과 가스 선택성을 확보하고 신뢰성을 높이는 것임. 이를 위해 반응 가스에 따른 UV-LED 집적 제작 기술과 고감도, 고선택성 자외선 활성화 센서 감지재를 개발하여 sub-ppm 수준의 저농도 가스 감지를 실현함. 더불어, 각 가스별 최적 조건의 Array 소자 및 SoC 소자 제작 기술 개발 및 성능 극대화에 주력함. 기대 효과는 감지재, UV-LED 광학적 특성 및 패키지, AAO 기판 특성 등을 최적화하여 가스센서 성능을 극대화함. 이를 통해 3종 이상의 상온 가스센서 구현 및 신뢰성 확보가 가능하며, 개발된 소자의 패키지 및 모듈 특성 평가에 활용될 것으로 전망됨.
가스센서
광에너지
적외선
다종가스
나노구조
최신 특허
특허 전체보기
상태출원연도과제명출원번호상세정보
등록2021초광대역 안테나1020210001145
전체 특허

초광대역 안테나

상태
등록
출원연도
2021
출원번호
1020210001145