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A study on the dry cleaning of patterned wafer using single-phase mixtures with supercritical carbon dioxide

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Extraction of Rice Using Supercritical CO2

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Supercritical Fluid Extraction of the Rape Seed Oil

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초임계 이산화탄소를 이용한 건식 웨이퍼 세정시 이산화탄소와 chemical 간의 상거동 연구

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초임계 단일상 혼합유체를 이용한 반도체 패턴 웨이퍼상의 post-metal each residue 세정 연구