나노패턴의 차세대 반도체 소자 양산용 표준화 건식프로세싱 기술 및 장비개

(주)에이앤디코퍼레이션

2009년 12월 - 2011년 11월

초임계유체기술을 이용한 에너지절약형 상용화 개발

한국에너지기술평가원

2009년 12월 - 2011년 11월

DMC/CO2/Methanol/Water 계의 상평형

한국과학기술연구원

2009년 06월 - 2012년 05월

나노패턴의 차세대 반도체 웨이퍼 세정공정 개발에 관한 연구

에너지관리공단

2007년 12월 - 2009년 09월

초임계유체기술을 이용한 에너지절약형 공정 및 소재 개발

에너지관리공단

2007년 12월 - 2009년 09월

초임계CO2 친환경 세정기술,정밀핵심부품

한국생산기술연구원

2006년 11월 - 2009년 10월

지능형 나노부품 소재기술 인력양성사업단

한국학술진흥재단

2006년 03월 - 2013년 02월

MEMS/나노패턴의 차세대 반도체 제조용 건식프로세싱 및 장비 개발

에너지관리공단

2004년 09월 - 2007년 09월

초임계 유체계의 평형물성측정 및 SEALING 재료 특성연구

에너지관리공단

2004년 09월 - 2007년 09월

초임계유체를 이용한 세라믹 나노구조체의 탈 바인더공정 개발

한국과학기술연구원

2004년 09월 - 2007년 02월