연구 영역
기본 정보
논문·특허
과제
구성원
화공학회 2003년 가을학술대회
Electrical and physical characteristics of MOCVD zirconium and hafnium silicate thin films using new combinations of precursors
구분
국내
국가
-
컨퍼런스명
화공학회 2003년 가을학술대회
발표 제목
Electrical and physical characteristics of MOCVD zirconium and hafnium silicate thin films using new combinations of precursors
기관명
한양대학교
참여 연도
-
상세 설명
한양대학교