고밀도 수직 식각형 Si/Ge 초격자 나노선을 이용한 열전나노소자 개발

교육과학기술부(과기부)

2010년 03월 - 2011년 02월

차세대 반도체 소자용 기판 기술 개발

지식경제부(정통부)

2009년 03월 - 2010년 02월

반도체 나노선과 미세유체채널을 접목한 고감도, 고집적 바이오나노센서 시스템개발

교육과학기술부(교육부)

2008년 12월 - 2009년 11월

미래형 태양광 열전 통합 나노소자

교육과학기술부(과기부)

2008년 10월 - 2009년 04월

차세대 에너지 변환소자용 나노구조 표면 도핑 장비/ 공정개발

정부출연기관

2008년 09월 - 2009년 08월

반도체 초접합 형성용 대구경 기판 표면처리 장비/기술 개발

중소기업청

2008년 07월 - 2009년 06월

반도체 나노선과 미세유체채널을 접목한 고감도, 고집적 바이오나노센서 시스템 개발

교육인적자원부

2007년 12월 - 2008년 11월

나노구조체 제작을 위한 전기화학적 식각용 세정장비 개발

정부출연기관

2007년 09월 - 2008년 08월

기판수직형 나노선을 이용한 FET (Field-Effect-Transistor)개념의 바이오센서 개발

과학기술부

2007년 03월 - 2008년 02월

신규 고안된 One-Valve System을 통한 전자빔 특성의 효과 개선

중소기업청

2006년 08월 - 2007년 07월