김성진 연구실

전자SW공학과 김성진

김성진 연구실은 전자공학과를 기반으로 반도체 소자 및 회로, 특히 고온 환경에서의 가스 센서 개발에 특화된 연구를 수행하고 있습니다. 연구실의 대표적인 연구 분야는 실리콘 카바이드(SiC)와 같은 첨단 반도체 기판 위에 금속 산화막을 적용한 수소 가스 센서 개발로, 기존 실리콘 기반 센서의 한계를 극복하고 고온에서도 안정적으로 작동하는 센서를 구현하는 데 중점을 두고 있습니다. 특히, 탄탈륨 산화막(Ta2O5), 티타늄 산화막(TiO2) 등 다양한 유전체 박막을 활용하여 센서의 감도와 내구성을 높이고, 급속 열 산화법(RTO) 및 반응 스퍼터링 등 첨단 박막 형성 기술을 적용하고 있습니다. 이러한 연구는 자동차, 석유화학, 에너지 산업 등 고온 환경에서의 안전 모니터링 및 공정 제어에 필수적인 기술로, 산업 현장에서의 실용화 가능성이 매우 높습니다. 연구실은 또한 탄소나노튜브(CNT)와 다공질 실리콘을 이용한 다양한 가스 센서 개발에도 주력하고 있습니다. CNT 박막의 스프레이 코팅, 실란 바인더의 적용, 전자 방출 특성을 활용한 진공 센서 등 다양한 소재와 공정 기술을 융합하여, 알코올, 습도, 불활성 가스 등 다양한 환경 인자를 정밀하게 검지할 수 있는 센서를 개발하고 있습니다. 다공질 실리콘 기반 센서 역시 구조적·전기적 특성 제어를 통해 고감도·고신뢰성 센서로 발전시켜 왔습니다. 이러한 연구 성과는 다수의 국내외 특허와 논문, 그리고 다양한 정부 및 산업체 지원 프로젝트를 통해 입증되고 있습니다. 연구실은 한국연구재단, 중소기업청, 경남테크노파크 등과의 협력을 통해 실용화 연구와 인력 양성에도 적극적으로 참여하고 있습니다. 김성진 교수는 오랜 기간 전자공학 분야에서 연구와 교육, 학회 활동을 병행하며, 반도체 소자 및 센서 분야의 국내외 권위자로 자리매김하고 있습니다. 앞으로도 연구실은 첨단 반도체 센서 기술의 혁신과 산업 현장 적용을 목표로, 지속적인 연구개발과 산학협력을 이어갈 계획입니다.