기본 정보
연구 분야
프로젝트
논문
구성원
article|
인용수 3
·2025
One‐Step Laser‐Induced Oxidation and Doping for Tailored p‐Type Conversion of Al‐Doped TiO2 (Small 39/2025)
Gyuwon Yang, Junil Kim, Byeongmoon Lee, Jae Eun Jang, Hyuk‐Jun Kwon
IF 12.1Small
초록

금속 산화물 반도체에서, 레이저 보조 산화 및 도핑 전략은 한 단계 공정으로 Al-도핑된 TiO2를 형성하며, 임계 레이저 출력 이상의 조건에서 선택적 Al 확산을 통해 p형 도전성을 구현한다. 이 방법은 TiO2의 고유한 n형 성질을 극복하여, 유형 변환(type conversion)을 위한 CMOS 호환 경로를 제공한다. 또한 이 접근법은 정밀한 공간 제어, 향상된 정공 수송, 차세대 산화물 전자소자 및 3D 집적을 위한 확장성을 제공한다. 자세한 내용은 논문 2502139호, Hyuk-Jun Kwon 및 공동연구자.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
DopingOxideConductivityDiffusionElectronicsScalability
타입
article
IF / 인용수
12.1 / 3
게재 연도
2025

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