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·2019
Sensor Offset Compensation for Improved Levitation Performance of Passive Maglev Transport System
Chang-Hyun Kim, Chang-Wan Ha, Jaewon Lim, Jong‐Min Lee, Doh Young Park
초록

입자는 디스플레이 제조 공정에서의 주요 결함 원인이며, 생산성을 높이기 위해 이를 최소화해야 한다. 개발된 수동 자기부상(Maglev) 이송 시스템은 입자를 생성하지 않으며, 단순하고 수동적인 이동 운반체를 사용하므로 진공 응용에 적합하다. 모든 센서와 전자기 구동기는 지면에 설치되어 있으며, 운반체의 위치에 따라 자동으로 활성화된다. 그러나 센서 설치 오류는 운반체 운동의 원치 않는 요동을 유발하며, 더 나은 자기부상 정확도를 위해 이를 보상해야 한다. 본 논문에서는 구동기를 on/off 전환하는 동안 운반체의 피칭(pitching) 운동을 감소시키기 위한 센서 오프셋 보상 알고리즘을 제안한다. 센서 오프셋은 운반체와 센서 기하학 간의 선형 관계에 기반하여 센서 측정으로부터 추정한다. 오프셋 보상 알고리즘은 시뮬레이션을 통해 시험되고 검증되었다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
MaglevMagnetic levitationOffset (computer science)LevitationActuatorCompensation (psychology)Position sensorControl theory (sociology)Electromagnetic suspensionComputer science
타입
article
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게재 연도
2019

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