본 보고서에서는 ZnO/CuO 다층 박막의 미세구조 및 광학적 특성에 관한 연구 결과를 제시한다. 아모퍼스 SiO2/Si 기판 위에 펄스 레이저 증착(pulsed laser deposition, PLD)으로 3종의 다층 ZnO/CuO 적층체를 제조하였고, 결정성을 향상시키기 위해 500°C에서 30분간 열처리하였다. 박막에 대한 TEM 및 XRD 분석 결과, 다수의 결정학적 결함의 형성과 우세한 성장 면의 변화가 확인되었다. 그 결과, CuO 층의 수를 통해 ZnO의 밴드엣지 근방 발광(near-band-edge emission)을 제어할 수 있다. 다층 ZnO/CuO 박막의 상세한 미세구조 및 전기광학적 특성에 대해 논의할 것이다.

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