연구 영역
기본 정보
논문·특허
과제
구성원
The 23rd International Display Workshops
Effect of Nitridation Pretreatment on the Electrical Properties of Low-Temperature (100oC) Silicon Nitride Films
구분
국외
국가
일본
컨퍼런스명
The 23rd International Display Workshops
발표 제목
Effect of Nitridation Pretreatment on the Electrical Properties of Low-Temperature (100oC) Silicon Nitride Films
기관명
ITE/SID
참여 연도
2016
상세 설명
ITE/SID