박막 이중 선택 다이오드(TF-DSD)는 플렉서블 디스플레이를 위한 픽셀 스위칭 소자 응용을 목적으로 저온(180 oC)에서 제작되었다. 실리콘-풍부 실리콘 나이트라이드(SRSN) 박막은 촉매 화학 기상 증착(Cat-CVD) 기법으로 제조하였다. 소스 가스 혼합물의 조성은 SRSN 박막의 광발광 스펙트럼과 전류-전압 특성에 직접적인 영향을 주었다. 우리는 박막 증착 파라미터를 제어함으로써 조절 가능한 비선형적이고 비대칭적인 전류-전압 특성을 관찰하였다.

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