|김태곤 교수 연구실
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·
인용수 5
·2025
Effect of the additives on controlling ceria-brush chemical bonding during post-CMP cleaning
Samrina Sahir, Kwang-Min Han, Sanjay Bisht, Tae‐Gon Kim, Jin-Goo Park
IF 4.6 (2025) Materials Science and Engineering B
키워드
BrushMaterials scienceChemical engineeringCleaning agentChemistryNanotechnologyMetallurgyComposite materialOrganic chemistry
타입
Article
IF / 인용수
4.6 / 5
원문
https://doi.org/10.1016/j.mseb.2025.118177
게재 연도
2025