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MEMS-based particle size magnifier for optically monitoring airborne nanoparticles in extremely low particle concentration environment

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MEMS-based Condensation Particle Counter for monitoring ultra-low nanoparticle concentration

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나노입자의 성장을 위한 MEMS 기반 층류 응축기

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대기 중 초 저농도 나노 입자 측정을 위한 MEMS 기반 입자 성장 소자

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Frequency 변화를 통한 3D 인지질 이중층 구조물 어레이의 sealing