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MEMS BASED INTEGRATED PARTICLE DETECTION CHIP FOR REAL TIME ENVIRONMENTAL MONITORING

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직접 프린팅을 이용한 임피던스 미세조정

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벌크 마이크로 머시닝을 이용한 고감도 미세 칼로리미터의 설계 및 제작

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실시간 환경 모니터링을 위한 초소형 집적 미세입자 측정 센서

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감광성 폴리이미드 필름을 이용한 FPC 커버레이 제작