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연구 분야
기술 도입 효과 및 상용화 단계
경제적/시장 적용 및 기대 효과
첨단 패키징 공정의 복잡성 증가는 정밀한 계측 및 테스트의 필요성을 높이고 있습니다. 본 연구실의 기술은 다층 구조의 깊이, 거칠기, 결함 등을 서브 나노미터 수준으로 측정하여 수율을 최적화하고, 반도체 및 디스플레이 시장에서의 기술 경쟁력을 강화할 수 있습니다.
자동화된 AFM과 같은 정밀 계측 시스템은 반도체 제조, 데이터 저장 장치, 품질 보증 등 다양한 산업 분야에서 핵심적인 역할을 수행합니다. AI 기술을 접목한 자동화 솔루션은 생산성 향상과 비용 절감을 통해 기업의 장기적인 성장에 기여할 것입니다.
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(2년차)하이브리드 듀얼모드 와이어본딩 초음파 트랜스듀서 개발
중소기업청
2012년 06월 - 2013년 05월
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비전 및 웨이퍼 자동이송 통합형 마이크로패키징 신뢰성 검사 장비 개발
서울시
2011년 08월 - 2012년 07월
13
하이브리드 듀얼모드 와이어본딩 초음파 트랜스듀서 개발
중소기업청
2011년 06월 - 2012년 05월
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3D Microsystem Packaging을 위한 접합공정 및 장비개발 (5차년도)
서울시
2010년 08월 - 2011년 07월
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3D Microsystem Packaging을 위한 접합공정 및 장비개발4년차(2단계2년차)
서울시
2009년 08월 - 2010년 07월
16
3D Microsystem Packaging을 위한 접합공정 및 장비개발3년차(2단계1년차)
서울시
2008년 08월 - 2009년 07월