|박진구 교수 연구실
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논문·특허
과제
구성원
ICSCRM 2025
Particle Removal Mechanism on 4H-SiC Surface by Comparison with Si Surface
구분
국외
국가
대한민국
컨퍼런스명
ICSCRM 2025
발표 제목
Particle Removal Mechanism on 4H-SiC Surface by Comparison with Si Surface
기관명
ICSCRM 2025
참여 연도
2025
상세 설명
ICSCRM 2025