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논문·특허
구성원
Article|
·
인용수 4
·2005
Microfluidic MEMS-based light modulator using magnetic fluid suitable for flat panel display applications
Jong‐Wook Seo, Hoyeon Kim, D. Park, Hyo-Sook Lee
Journal of Microelectromechanical Systems
초록

자성 유체를 이용한 새로운 마이크로유체 MEMS 기반 광 변조기가 도입되었다. 이 장치는 평면 구조를 가지며, 기존의 박막 공정으로 제작할 수 있고 평판 디스플레이(FPD)에 적용하기에 적합하다. 전극에 전류를 인가함으로써 장치의 광 반사율을 조절한다. 전류에 의해 생성된 자기장은 자성 유체에 자기력을 가하여 이를 구동시켜 셀 표면을 덮게 한다. 유체의 표면장력은 자기장이 감소할 때 복원력을 제공한다. 자기 데이터 저장 장치용 유도 헤드의 제조를 위해 개발된 퍼멀로이 기반 박막 공정을 장치 제작에 사용하였다. 유체의 구동은 각각 자기력과 표면장력에 의해 박막-두꺼운막 및 두꺼운막-박막 스위칭에서 약 12 ms 내에 완료되었다. 스위칭 속도는 구동 전류에 거의 무관함이 관찰되었으며, 100 mA까지의 전류로 구동할 때 뚜렷한 열적 영향은 관찰되지 않았다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
Materials scienceMicroelectromechanical systemsMicrofluidicsPermalloyMagnetic fieldCurrent (fluid)OptoelectronicsFabricationElectrodeThin film
타입
Article
IF / 인용수
- / 4
게재 연도
2005