본 연구는 자기 연마 가공(MAF)을 사용하여 코팅된 표면 위의 AFM 스크래치 나노패턴에 적합한 표면 마감 공정을 조사한다. 먼저, 특수 설계된 AFM 가공 장치를 이용하여 IZO 코팅된 파이렉스 유리에서 나노스케일 패터닝을 수행하였다. AFM 가공 후에는 적층체(pile-ups)와 같은 불균일한 표면 형상이 생성되며, 코팅 재료에서는 최종 형상이 종종 더 복잡해진다. 이러한 이유로 MAF를 코팅 재료의 적층체/잔사에 대한 나노스케일 제거 및 설계를 위한 공정으로 적용하였고, 설계된 실험(DOE)을 활용하여 마감 공정의 최적 공정 조건을 도출하였다. 공정은 코팅-기판(유리) 경계 검출뿐 아니라 연마 상태/깊이 모니터링을 위해 음향 방출(Acoustic Emission, AE)을 사용하여 모니터링하였다. 실험 결과는 제안된 공정이 다양한 재료 구성에서 나노스케일 선택적 마감 기법으로서의 가능성을 시사한다.

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