본 연구에서는 음향방출(Acoustic Emissions, AE)을 이용한 공정 중 모니터링과 함께 나노스케일 마감 공정인 자기연마가공(Magnetic Abrasive Finishing, MAF)의 새로운 설정을 조사하였다. 네오디뮴 자석이 부착된 특수 제작 방향 제어 부품을 MAF 장치에 장착하여, 선택 영역 내에서 박막(IZO) 코팅된 파이렉스(Pyrex) 유리 시편의 표면을 마감가공하였다. 선택 마감 실험에서는 시편의 표면 거칠기를 최적화하기 위해 실험계획법(Design of Experiments, DOE)을 적용하였다. 또한, 나노스케일 공작물의 초정밀 가공/연마 과정에서 표면 거칠기와 공정 상태를 효과적으로 모니터링할 수 있는 음향방출(AE) 센서를 MAF 동안 연마된 표면의 깊이를 검출하기 위해 채택하였다. 실험 결과, 제안된 MAF 설정은 한정된(목표) 영역에서 나노 수준의 표면 거칠기를 갖는 균일한 표면을 생성하는 것으로 나타났다. 아울러 AE 모니터링은 공정 상태와의 강한 상관관계를 보이며, 임계 두께(코팅 층의 종점)를 검출하기에 충분한 감도를 가지는 것으로 보인다. 처리된 AE 신호는 인공신경망(Artificial Neural Network, ANN)의 입력 변수로 활용하여, 연마가 코팅-기판(Pyrex) 경계에 도달했는지를 판정하였다. 제안된 연마 및 모니터링 체계를 통해, 특정 두께/층을 가진 얇은 막 코팅 재료의 선택 영역 내에서 제어된 나노 마감가공이 가능하다.

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