정밀 연마/폴리싱 동안의 재료 제거율(MRR)은 공정 성능을 좌우하는 핵심 요소이다. 또한 MRR 또는 마모율은 재료/부품의 신뢰성과 밀접한 관련이 있다. 나노 오더 두께의 코팅에서 나노스케일 패터닝 및/또는 평탄화가 필요한 경우, MRR의 예측과 공정 중 모니터링은 필수적이다. 이는 코팅/기판 상호작용의 결과로 크기 효과 및 재료 특성/공정 조건 변동이 발생하여 공정이 규명(characterizable)되기 어렵기 때문이다. 본 연구의 목적은 코팅된 표면의 나노스케일 마무리 공정 동안 MRR을 예측하고 공정 중 모니터링하기 위한 실용적 방법론을 개발하는 데 있다. 이를 위해 특별히 설계된 자기 연마 마무리(magnetic abrasive finishing, MAF)와 음향 방출(acoustic emission, AE) 모니터링 장치를 사용하여, 인듐-아연-산화물(indium-zinc-oxide, IZO) 코팅된 파이렉스 유리(Pyrex glass)에 대해 실험을 수행하였다. 정해진 폴리싱 시간 간격 이후, 각 가공물 시료에 대해 AFM 인덴테이션을 실시하여 코팅층(IZO)의 접착력 변화를 측정하였으며, 이는 MRR 변화와 직접적으로 연관된다. 힘 변화 및 AE 모니터링 데이터는 표면 측정(Nanoview) 결과로부터 계산된 MRR과 비교하였다. 실험 결과는 AFM 인덴테이션과 MRR 측정 데이터 간에 강한 상관관계가 있음을 보여주었다. 또한 모니터링된 AE 신호는 폴리싱이 진행됨에 따라 코팅층의 재료 구조 변화를 민감하게 반영하는 것으로 나타났다.

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