Printed 2D Semiconductor Transistor Electrical Property Control
연구 내용
잉크젯 프린팅 기반 확산 도핑으로 이차원 반도체의 표면 전하 이동도핑을 정밀 제어하여 대면적 전계효과 트랜지스터의 전기적 특성과 성능을 구현하는 연구
고려대학교 정승준 연구실은 인쇄 공정으로 이차원 반도체를 대면적으로 구현하기 위한 공정-소자 연계를 핵심으로 수행합니다. 잉크젯 프린팅을 이용해 형성한 도핑/활성 층을 확산 도핑 방식으로 처리하여 표면전하이동도핑 조건을 조절하고, 트랜지스터의 전계효과 특성에 직접 반영되도록 설계합니다. 이를 통해 공정 변동에 따른 전기적 편차를 줄이고, 이차원 반도체의 성능을 안정적으로 확보하는 데 차별성을 둡니다.
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연구 흐름
초기에는 잉크젯 프린팅으로 이차원 반도체 소자 구조를 대면적에 적용할 수 있는 공정 재현성을 확보하는 데 집중하였습니다. 이후 확산 도핑을 도입하여 표면전하이동도핑 조건을 변화시키고, 전계효과 트랜지스터의 전달 특성과 누설 특성의 상관관계를 정리했습니다. 최근에는 공정 변수와 도핑 분포의 연계를 바탕으로 고성능 소자 구현을 목표로 최적 공정 윈도우를 도출하는 흐름으로 연구를 수행하고 있습니다.
활용 가능성
활용 가능성은 알앤디써클 특화 AI 에이전트가 생성한 내용으로, 실제 연구 가능 여부는 연구실과의 논의가 필요합니다.