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162

121

Hydrodynamic analysis of chemical mechanical polishing process
안유민, 0, 0, 0
Tribology International, 2000

122

연마 다듬질 가공면의 표면 미세형상 평가에 관한 연구
안유민, 0, 0, 0, 0, 0, 0
한국공작기계학회 2000년도 추계학술대회 논문집, 2000

123

Mechanical property measurement of electroplated gold microstructure using resonance method
안유민, 0, 0, 0
MRS Proceedings(vol.605), Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices II, 2000

124

전압주파수와 파형 폭 변화에 따른 유리의 미세 전해 방전 가공성능에 대한 실험
안유민, 0
공학기술논문집, 2000

125

연삭숫돌 주축 및 공작물 회전체 진동을 고려한 원통 연삭가공의 동특성 해석
안유민, 0, 0
한국정밀공학회지, 2000

126

금형면 자동 다듬질 장치의 D/B 구축을 위한 실험적 연구
안유민, 0, 0, 0, 0
한국공작기계학회지, 2000

127

Effect of Chemicals and Slurry Particles on Chemical Mechanical Mechanical Polishing of Polyimide
안유민, 0, 0, 0, 0
Japanese Journal of Applied Physics, 2000

128

화학기계적연마 공정의 고체간 접촉 응력 해석
안유민, 0, 0
기계기술연구논문집, 2000

129

화학기계적 연마공정의 윤활역학적 압력 및 전단응력 분포 해석
안유민, 0, 0
한국정밀공학회지, 2000

130

화학기계적 연마 가공에서의 윤활 특성 해석
안유민, 0, 0
윤활학회지, 1999