반도체 소자용 구리박막의 화학기계적연마 가공에서 결함 발생 기구 연구

교육인적자원부

2001년 10월 - 2002년 09월

전력소자용 기판 및 통신용 소자박막에 대한 연삭연마가공법 연구

과학기술부

2001년 03월 - 2002년 02월

화학기계적연마 공정에서 미소 스크래치 저발생화를 위한 가공기술 연구

교육인적자원부

2000년 09월 - 2001년 08월

Air motor(vane type) 국산화 개발

지방자치단체

2000년 08월 - 2001년 07월