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Advanced Nanopatterning Laboratory

부경대학교 재료공학전공 박운익 교수

Advanced Nanopatterning Laboratory는 재료공학을 기반으로 한 첨단 나노패터닝 및 나노구조 형성 기술을 연구하는 연구실입니다. 본 연구실은 나노전사프린팅(nTP), 유도 자기조립(DSA), 나노임프린트, 레이저 마이크로머시닝 등 다양한 나노패터닝 공정 기술을 융합하여, 차세대 반도체, 에너지, 센서, 바이오 및 광학 소자에 적용 가능한 초고해상도·대면적 나노구조를 개발하고 있습니다. 특히, 나노전사프린팅 기술은 금속, 산화물, 고분자 등 다양한 소재를 10 nm 이하의 해상도로 다양한 기판 위에 직접 전사할 수 있는 혁신적인 공정으로, 기존 리소그래피의 한계를 극복하고 있습니다. 이 기술은 대면적 웨이퍼, 유연 기판, 곡면 등 다양한 응용 환경에 적용 가능하며, 극압 임프린트, 열보조 공정, 레이저 패터닝 등과 결합하여 복합적이고 정교한 3차원·다공성·하이브리드 구조체 제작이 가능합니다. 또한, 블록공중합체 기반의 유도 자기조립 기술을 통해, 분자 수준의 자기조립 현상을 정밀하게 제어하여, 초미세 나노패턴을 신속하게 형성하고 있습니다. 혼합 용매, 담금 어닐링, 표면 개질 등 다양한 공정 변수 최적화를 통해, 결함이 적고 균일한 나노구조를 대면적으로 구현하며, 이를 기반으로 저전력 메모리, 에너지 하베스터, 차세대 센서 등 다양한 소자 응용 연구도 활발히 진행 중입니다. 연구실은 최근 리튬이온 배터리, 페로브스카이트 태양전지, 플렉서블 전자소자, 자가발전 IoT 센서 등 실용적이고 산업적 파급력이 큰 응용 분야로 연구를 확장하고 있습니다. 다양한 특허와 논문, 산학협력 프로젝트를 통해 국내외 학계 및 산업계와 활발히 교류하고 있으며, 첨단 나노소재·부품 원천기술 개발에 앞장서고 있습니다. 이처럼 Advanced Nanopatterning Laboratory는 나노구조 형성의 새로운 패러다임을 제시하며, 미래 반도체 및 첨단 소재·소자 산업의 혁신을 선도하는 연구실로 자리매김하고 있습니다.

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