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Article
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·
인용수 0
·
2025
Effect of increasing deposition temperature of atomic-layer–deposited ZrO2 thin films: improvement of leakage-current properties
Ji Hwan Kim
,
Seungwon Lee
,
Yoonchul Shin
,
Yeon-Ji Jeon
,
Hyo Yeon Kim
,
Hong Seok Jang
,
Hyung Soon Park
,
Tae Joo Park
,
Ji‐Hoon Ahn
IF 5.6 (2025)
Ceramics International
키워드
Thin film
Dielectric
Impurity
Deposition (geology)
Band gap
Leakage (economics)
Capacitor
Tetragonal crystal system
타입
Article
IF / 인용수
5.6 / 0
원문
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2025.10.376
게재 연도
2025