박태주 연구실
한양대학교 차세대반도체융합공학부
박태주 교수
원자층증착(ALD)
영역선택적 증착(ASD)
고유전 박막
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박태주 연구실
한양대학교 차세대반도체융합공학부 박태주 교수
박태주 연구실은 원자층 증착(Atomic layer deposition, ALD)과 영역선택적 증착을 기반으로 표면화학·계면 반응을 제어하는 박막 공정 연구를 수행합니다. 산화물/질화물 선택성, 전구체 설계, 산화 동역학, 증착 조건에 따른 결함 및 전기적 누설 특성을 분석하여 유전체 및 기능성 박막을 구현합니다. 또한 다공성 및 이종구조 기반 광촉매·전기촉매 소재를 합성해 수계 정화와 물 분해 반응을 평가하고, 알칼리 이온 멤리스터와 수직 선택 소자 메모리의 ALD/ASD 공정 및 집적 검증을 진행합니다. 황화계 all-solid-state batteries에서는 powder-ALD 조성 제어 보호층으로 계면 안정성을 확보하는 연구도 병행합니다.
원자층증착(ALD)영역선택적 증착(ASD)고유전 박막전구체 화학표면·계면화학
대표 연구 분야
연구 영역 전체보기
영역선택적 원자층 증착 및 박막 계면/결함 제어
Area-Selective Atomic Layer Deposition and Interface/Defect Control in Thin Films
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영역선택적 원자층 증착 및 박막 계면/결함 제어
Area-Selective Atomic Layer Deposition and Interface/Defect Control in Thin Films
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광촉매/광전기 에너지 변환 및 다공성 이종구조 촉매
Photocatalysis and Photonic-Energy Conversion Using Porous Heterostructured Catalysts
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알칼리 이온 멤리스터/수직 셀렉터 메모리 및 ASSB 계면 보호층
Alkali-Ion Memristor and Vertical Selector Memory, and Interfacial Protective Layers for ASSBs
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연구 성과 추이
표시된 성과는 수집된 데이터 기준으로 산출되며, 일부 차이가 있을 수 있습니다.
주요 논문
5
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1
Article
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인용수 0
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2025Composition‐Controlled Cathode Protective Layer via Powder‐Atomic Layer Deposition for All‐Solid‐State Batteries
Kyu Moon Kwon, Dae Ho Kim, Ha Yeon Kwon, Joungwon Park, Kyoung Hwan Kim, Hwi‐Yeol Park, Hye Won Kang, Tae Joo Park
IF 14.1 (2025)
Advanced Science
조성에 따라 달라진다. 이러한 조성 의존적 수송 특성은 전기화학적 성능에 직접적인 영향을 미치며, 초기 쿨롬 효율에서 4.5%의 차이와 장기 보존성에서 37%의 차이를 초래한다. 코팅된 CAM은 코팅되지 않은 대응물에 비해 각각 초기 효율과 용량 보존성에서 6.7% 및 43%의 증가를 보였다. 본 연구는 보호층의 조성과 배터리 성능 사이에 대한 정량적 상관관계를 제시하며, 황화물계 ASSB에서 계면 공학을 위한 핵심 전략으로서 조성 제어의 중요성을 강조한다.
https://doi.org/10.1002/advs.202514583
Faraday efficiency
Cathode
Electrolyte
Atomic layer deposition
Battery (electricity)
Electrochemistry
Layer (electronics)
Conductivity
Oxide
2
Article
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2025Atomic layer deposition of sulfur-defective ZnS on TiO2: Tailoring optical and electronic properties for visible-light-driven water splitting
Muhammad A. Abbas, Muhammad Abdul Basit, Mohsin Ali, Minji Lee, Tae Joo Park, Jin Ho Bang
IF 6.9 (2025)
Applied Surface Science
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.162314
Atomic layer deposition
Layer (electronics)
Visible spectrum
Materials science
Water splitting
Sulfur
Deposition (geology)
Optoelectronics
Nanotechnology
Chemical engineering
3
Article
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2025Atomic Layer Deposition of ZrO2 Films at High Temperatures (>350 °C) Using a Modified Cyclopentadienyl Zr Precursor
Jae Chan Park, Chang Ik Choi, Hongseok Jang, Suhyong Yun, Miso Kim, Ji‐Hoon Ahn, Woo‐Hee Kim, Bonggeun Shong, Tae Joo Park
IF 8.2 (2025)
ACS Applied Materials & Interfaces
. 유전율, 누설 전류 및 유전체 항복의 전기적 특성 또한 향상된 물리화학적 특성으로 인해 개선되었습니다.
https://doi.org/10.1021/acsami.5c11791
Cyclopentadienyl complex
Atomic layer deposition
Materials science
Thermal stability
Dielectric
High-κ dielectric
Deposition (geology)
Impurity
Layer (electronics)
Chemical engineering
최신 정부 과제
40
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1
2025년 10월-2027년 12월
|88,182,000원비화학양론적 황화아연이 원자층 증착된 TiO2의 광에너지효율 향상
본 연구는 광전기화학(PEC) 및 전기화학적 수분해를 통한 태양에너지 수확 및 수소 연료 생성에 활용할 수 있는 고성능·저비용 소재를 개발하여, 전 세계적인 에너지 수요와 파키스탄과 같은 지역적 위기에 대응하는 것을 목표로 한다. 본 과제는 첨단 원자층 증착(ALD) 기술을 활용하여, 다공성 TiO₂ 표면에 비화학양론적(non-stoichiometric) ...
원자층 증착법
황화아연
수소/산소생성반응
수소 생산
반투명 태양전지
2
2025년 10월-2027년 12월
|29,845,000원비화학양론적 황화아연이 원자층 증착된 TiO2의 광에너지효율 향상
본 연구는 광전기화학(PEC) 및 전기화학적 수분해를 통한 태양에너지 수확 및 수소 연료 생성에 활용할 수 있는 고성능·저비용 소재를 개발하여, 전 세계적인 에너지 수요와 파키스탄과 같은 지역적 위기에 대응하는 것을 목표로 한다. 본 과제는 첨단 원자층 증착(ALD) 기술을 활용하여, 다공성 TiO₂ 표면에 비화학양론적(non-stoichiometric) ...
원자층 증착법
황화아연
수소/산소생성반응
수소 생산
반투명 태양전지
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2025년 3월-2027년 12월
|963,000,000원알칼리 이온 시냅스 기반 8Kb급 다단 패시브 어레이 제작 및 CMOS 회로 집적 검증
○ 다단 자가정류형 시냅스 소자 패시브 어레이 - CMOS 회로 co-optimization 및 검증- ALD 기반 대칭/비대칭 전극 구조의 알칼리 이온 자가정류 시냅스 개발- 다단 CBA 집적 동작이 가능한 알칼리 이온 자가정류 시냅스 확보- 8 kbit 집적도의 패시브 크로스바 어레이의 집적 및 검증- 자가정류형 알칼리 이온 기반 시냅스 크로스바 어레이...
자기정류 멤리스터
알칼리 이온
다단 적층
크로스바 어레이
CMOS 회로
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채널 올 어라운드 구조를 적용한 3차원 모놀리식 상보형 트랜지스터
상태
공개출원연도
2025출원번호
1020250028292TiO2/ZnS 광촉매 및 그 제조 방법
상태
공개출원연도
2022출원번호
1020220169352박막 결정 특성 제어를 위한 전구체 주입 및 퍼지 단계를 갖는 원자층 증착법
상태
등록출원연도
2022출원번호
1020220137320