한양대학교 나노소자공학연구실

재료화학공학과 박태주

한양대학교 나노소자공학연구실은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD)을 기반으로 한 분말 및 박막 소재, 차세대 반도체 소자, 에너지 저장 소재 등 다양한 첨단 융합 연구를 선도하고 있습니다. 본 연구실은 분말 원자층 코팅법을 세계적으로 독창적으로 개발하여, 반도체, 이차전지, 제약, 화장품 등 다양한 산업 분야에서 요구되는 고기능성 분말 소재의 표면 특성 제어 및 대량 생산 기술을 확보하였습니다. 특히, 기존 습식 공정의 한계를 극복한 친환경 건식 코팅법, 코어-쉘 구조 분말 합성, 대량 분말 코팅 장비 개발 등 산업 현장에 즉시 적용 가능한 실용적 기술을 지속적으로 발전시키고 있습니다. 연구실은 차세대 반도체 소자 및 2차원 전자기체(2DEG) 기반 논리 소자 개발에도 세계적인 경쟁력을 보유하고 있습니다. 세계 최초로 2차원 전자기체 채널을 적층한 3진법 논리 트랜지스터를 구현하여, AI 및 고성능 컴퓨팅 시대의 데이터 폭증 문제를 해결할 수 있는 혁신적 소자 구조를 제시하였습니다. 또한, 원자층 증착법을 활용한 초저전력·고속 동작 소자, 4F 스퀘어 VG(수직 게이트) 플랫폼, 3D D램, 뉴로모픽 시스템 등 첨단 메모리 및 연산 소자 연구를 활발히 수행하고 있습니다. 이와 더불어, 전고체 배터리용 고체 전해질, 이차전지용 활물질, CMP 슬러리, 방열 소재, 솔더볼 등 다양한 응용 분야에서 원자층 증착 기반의 표면 개질 및 기능성 코팅 기술을 개발하고 있습니다. 국내외 특허, 표지 논문, 우수논문상 등 다수의 연구성과를 통해 기술력을 인정받고 있으며, 현대자동차, 중소벤처기업부 등과의 산학연 협력 프로젝트를 통해 연구 결과의 산업적 확산과 양산화에도 앞장서고 있습니다. 연구실은 실험실 특화 창업 패키지, 딥테크팁스(R&D), 창업성장기술개발사업 등 다양한 정부 지원 과제와 함께, 알페스㈜ 등 스타트업 창업 및 기술 이전을 통해 연구성과의 사회적·경제적 가치를 극대화하고 있습니다. 앞으로도 반도체, 에너지, 바이오·헬스케어 등 미래 산업의 핵심 기반 기술을 지속적으로 개발하여, 글로벌 혁신을 선도하는 연구실로 성장해 나갈 것입니다.