산화물/질화물에 대한 화학선택적 흡착을 기반으로 원자층 증착의 선택비와 계면 특성을 제어하고, 박막의 전기·화학적 성능을 최적화하는 연구
2차원 나노복합체와 양자점, 결함 조절 막, 다공성 이종구조를 설계해 가시광 기반 광촉매 성능을 높이고 수계 정화와 물 분해를 수행하는 연구
알칼리 이온 멤리스터와 수직 선택 소자를 위한 ALD/ASD 공정과, 황화계 ASSB의 계면 보호층 조성을 조절해 소자 성능을 확보하는 연구