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인용수 0
·
2025
Oxidation Dynamics and Surface Chemistry of Iridium and Iridium Oxide Films Grown by Atomic Layer Deposition Using O
2
and O
3
Ji Won Han
,
Jae Woo Jang
,
Ryosuke Harada
,
Woo‐Hee Kim
,
Ji‐Hoon Ahn
,
Tae Joo Park
IF 12.1 (2025)
Small
초록
반응물의 산화 전위와 노출 시간에 관하여 필름에 대해 제안한다.
*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.
원문 확인하기
키워드
Iridium
Atomic layer deposition
Nucleation
Adsorption
Crystallinity
Oxide
Deposition (geology)
타입
Article
IF / 인용수
12.1 / 0
원문
https://doi.org/10.1002/smll.202504724
게재 연도
2025