• Fe 3 O 4 층을 회전 반응기 기반 스퍼터링을 사용하여 FeSiBCr 분말에 등면(수직)으로 순응 코팅한다. • 제안된 코팅 방법은 나노스케일에서 Fe 3 O 4 두께를 정밀하게 제어할 수 있게 한다. • Fe 3 O 4 층은 분말 표면의 전도도를 감소시키고 결함을 최소화한다. • 최적화된 코어–쉘 구조는 투자율(permeability)을 향상시키고 전력 손실(power loss)을 낮춘다. 저전력 손실과 높은 자기 투과율을 갖는 연자성 복합재는 에너지 효율적이고 고성능의 장치에 필수적이며, 그 응용은 빠르게 확대되어 왔다. 본 연구에서는 회전 반응기를 이용하는 회전 반응기 기반 스퍼터링을 분말 코팅 기법으로 제안하여, FeSiBCr 비정질 연자성 분말 위에 두께를 정밀하게 제어한 균일한 Fe 3 O 4 코팅 층을 형성한다. Fe 3 O 4 두께를 15~50 nm 범위에서 변화시켜, 고주파에서 전력 손실을 최소화함과 동시에 자기적 특성을 향상시키도록 미세구조를 최적화하였다. 그 결과, 두께 15 nm의 Fe 3 O 4 코팅 분말은 무처리 분말에 비해 전력 손실이 73.5% 감소하였고, 유효 투과율(effective permeability)은 무코팅 분말 대비 최대 133.8%까지 향상되었다. 미세구조 분석에 따르면 비정질 Fe 3 O 4 층의 도입은 산소 공급원 역할을 하여 계면 SiO 2 층의 형성으로 이어지며, 이는 와전류 손실(eddy current losses)을 감소시키는 데 중요한 역할을 한다. 이러한 분말 표면에 대한 혁신적인 스퍼터링 기법은 전통적인 코팅 방법에 비해 유의한 개선을 보여, 전자 및 산업 응용 분야에서 고성능 연자성 복합재를 위한 확장 가능한(scalable) 해결책을 제공한다.
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