초정밀 3차원 측정을 위한 OCT(Optical coherence tomography) 측정 모듈 개발
산업용 OCT 중 고부가가치의 장치인 유리 기판 및 반도체 검사에 특화된 OCT를 개발하여 실제 환경과 매우 유사한 환경에서 성능을 검증하고, 패키징 전 단계까지 개발을 진행하고자 한다. 실제 장비와 유사한 환경 구축을 위해서 OCT 모듈 개발과 스테이지, 스캐너, 레이저의 딜리버리 구성 및 제어가 필요하며, 본 과제에는 위 내용의 기능을 즉시 적용할 수 ...