Area-selective atomic layer deposition on 2D monolayer lateral superlattices
J. Park, S.J. Kwak, S. Kang, S. Oh, B. Shin, G. Noh, T.S. Kim, C. Kim, H. Park, S.H. Oh, W. Kang, N. Hur, H.-J. Chai, M. Kang, S. Kwon, J. Lee, Y. Lee, E. Moon, C. Shi, J. Lou, W.B. Lee, J.Y. Kwak, H. Yang, T.-M. Chung, T. Eom, J. Suh, Y. Han, H.Y. Jeong, Y. Kim*, K. Kang*
Nature Communications, 2024