Energy & Thermal Processing Laboratory
기계공학부 문승재
에너지 및 열공정 연구실은 마이크로/나노 스케일 레이저를 활용한 열 메커니즘 개발과 첨단 반도체 공정 응용에 중점을 두고 있는 연구실입니다. 본 연구실은 레이저와 재료 간의 상호작용을 심층적으로 분석하여, 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 다양한 첨단 산업 분야에서 요구되는 고정밀·고효율 제조공정의 혁신을 추구하고 있습니다. 특히, 레이저 유도 붕괴 분광법(LIBS), 나노입자 잉크 소결, 박막 두께 실시간 측정 등 다양한 첨단 기술을 개발하여, 산업 현장에서의 실질적인 문제 해결에 기여하고 있습니다.
또한, 마이크로/나노 스케일에서의 열전달 현상과 그 메커니즘을 규명하기 위해, 실험적 접근과 더불어 고도화된 수치 해석 도구를 적극적으로 활용하고 있습니다. 유한요소법, 열등가회로 모델, MATLAB 기반 시뮬레이션 등 다양한 해석 기법을 통해, 전동기, 반도체 공정 장비, 에너지 시스템 등에서의 열거동을 정밀하게 예측하고, 실험 데이터와의 비교·검증을 통해 모델의 신뢰성을 지속적으로 높이고 있습니다.
나노기술을 기반으로 한 재료의 결정화 및 소결 공정 연구도 본 연구실의 핵심 분야입니다. 금속 나노입자의 소결, 알루미늄 유도 결정화, 전기적 및 레이저 소결 등 다양한 공정 연구를 통해, 고성능 전자소자 및 에너지 소자의 제조 기술을 개발하고 있습니다. 이러한 연구는 실제 산업체와의 협력 프로젝트, 특허 출원, 그리고 국내외 학술대회 발표 등 다양한 성과로 이어지고 있습니다.
본 연구실은 반도체 공정 장비용 쿼츠판 오염도 측정기, 이온 임플랜터용 부싱, 웨이퍼 노치 감지 시스템 등 산업 현장에서 요구되는 실용적이고 혁신적인 솔루션을 지속적으로 개발하고 있습니다. 이를 위해 인공지능, 데이터 기반 최적화, 실시간 센서 기술 등 최신 융합기술을 적극적으로 도입하고 있으며, 미래형 스마트 제조공정의 기반을 마련하고 있습니다.
에너지 및 열공정 연구실은 앞으로도 미세 스케일 열전달, 나노소재 공정, 첨단 반도체 및 에너지 시스템 등 다양한 분야에서 세계적 수준의 연구를 지속할 계획입니다. 창의적이고 도전적인 연구 환경을 바탕으로, 학문적 성과와 산업적 실용성을 동시에 추구하며, 미래 사회의 기술 혁신을 선도하는 연구실로 자리매김하고자 합니다.
Laser Processing
Semiconductor Manufacturing
Thermal Analysis
마이크로/나노 스케일 레이저를 활용한 열 메커니즘 및 반도체 공정 응용
본 연구실은 마이크로 및 나노 스케일 레이저를 이용한 열 메커니즘 개발과 그 응용에 중점을 두고 있습니다. 레이저와 다양한 재료 간의 상호작용을 심도 있게 분석하여, 반도체 제조 공정에서 발생하는 복잡한 열 현상을 규명하고, 이를 통해 공정의 효율성과 정밀도를 극대화하는 연구를 수행하고 있습니다. 특히, 레이저 유도 붕괴 분광법(LIBS)과 같은 첨단 분석 기법을 활용하여, 실시간으로 재료 내 원소의 농도와 분포를 측정하고, 이를 바탕으로 최적의 공정 조건을 도출합니다.
이러한 연구는 반도체 웨이퍼의 이온 주입, 박막 증착 및 패터닝, 나노입자 잉크의 소결 등 다양한 첨단 제조 공정에 직접적으로 적용되고 있습니다. 예를 들어, 레이저를 이용한 은 나노입자 잉크의 소결 및 패터닝 기술은 고집적 회로 및 차세대 전자소자 제작에 필수적인 기술로 자리 잡고 있습니다. 또한, 레이저를 활용한 박막 두께 측정 및 실시간 공정 모니터링 기술은 반도체 산업의 생산성 향상과 품질 관리에 크게 기여하고 있습니다.
이 연구 분야는 반도체뿐만 아니라 디스플레이, 태양전지, 바이오센서 등 다양한 산업 분야로 확장될 수 있는 잠재력을 가지고 있습니다. 앞으로는 레이저-재료 상호작용의 근본적인 물리적 원리를 더욱 심층적으로 규명하고, 인공지능 및 데이터 기반의 공정 최적화 기술과 융합하여, 미래형 첨단 제조공정의 혁신을 선도할 계획입니다.
마이크로/나노 스케일 열전달 및 수치 해석 기반 시뮬레이션
마이크로 및 나노 스케일에서의 열전달 현상은 기존의 거시적 열전달 이론과는 다른 복잡한 특성을 보입니다. 본 연구실은 이러한 미세 스케일 열전달 메커니즘을 규명하기 위해, 다양한 실험적 접근과 더불어 고도화된 수치 해석 도구를 개발 및 적용하고 있습니다. 특히, 유한요소법(FEM), 열등가회로(TEC) 모델, 그리고 맞춤형 MATLAB 기반 시뮬레이션 프로그램을 활용하여, 전동기, 반도체 공정 장비, 에너지 시스템 등 다양한 응용 분야에서의 열거동을 정밀하게 예측합니다.
이러한 수치 해석 연구는 실제 산업 현장에서의 문제 해결에 직접적으로 연결됩니다. 예를 들어, 고출력 전동기의 냉각 성능 해석, 복합화력발전소의 하부사이클 동적 시뮬레이션, 반도체 장비용 쿼츠판의 열특성 분석 등 다양한 프로젝트를 통해 실질적인 성과를 도출하고 있습니다. 또한, 실험 데이터와 시뮬레이션 결과를 비교·검증함으로써, 모델의 신뢰성과 예측력을 지속적으로 향상시키고 있습니다.
향후에는 인공지능 기반의 데이터 분석 및 최적화 기법을 접목하여, 더욱 복잡한 열전달 시스템의 거동을 실시간으로 예측하고 제어할 수 있는 스마트 시뮬레이션 플랫폼을 구축할 계획입니다. 이를 통해 에너지 효율 극대화, 시스템 신뢰성 향상, 그리고 친환경 공정 개발 등 다양한 사회적 요구에 부응하는 연구를 지속적으로 추진할 것입니다.
나노기술, 결정화 및 소결 공정, 열에너지 시뮬레이션
본 연구실은 나노기술을 기반으로 한 재료의 결정화 및 소결 공정, 그리고 열에너지 시뮬레이션 분야에서도 선도적인 연구를 수행하고 있습니다. 나노입자(특히 은, 구리 등 금속 나노입자)의 소결 및 결정화 과정에서 나타나는 미세구조 변화와 물성 변화를 체계적으로 분석하여, 고성능 전자소자 및 에너지 소자의 제조 공정에 적용하고 있습니다. 전기적 소결, 레이저 소결, 오븐 소결 등 다양한 소결 방법을 비교·분석하여, 최적의 소결 조건과 공정 변수 도출에 주력하고 있습니다.
특히, 알루미늄 유도 결정화(AIC) 등 첨단 결정화 공정 연구를 통해, 비정질 실리콘 박막의 고품질 다결정화 및 도핑 기술을 개발하고 있습니다. 이러한 기술은 차세대 태양전지, 반도체 소자, 디스플레이 등 다양한 분야에 적용될 수 있으며, 실제로 여러 특허와 산업체 협력 프로젝트를 통해 그 실용성이 입증되고 있습니다. 또한, 열에너지 시뮬레이션을 통해 소결 및 결정화 과정에서의 온도 분포, 열유동, 미세구조 성장 등을 정밀하게 예측하고, 실험 결과와의 정합성을 확보하고 있습니다.
이 연구 분야는 나노소재 기반의 신기술 창출뿐만 아니라, 친환경 에너지 시스템, 고효율 전자소자, 그리고 미래형 스마트 제조공정의 기반 기술로서 중요한 역할을 하고 있습니다. 앞으로는 나노소재의 물성 제어, 공정 자동화, 그리고 대면적·고속 제조기술 개발에 집중하여, 산업계와 학계 모두에 혁신적인 솔루션을 제공할 계획입니다.
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Performance of 500 MW thermal power plants depending on driving methods of boiler feedwater pumps
Yong Chu Jang, Kyung Hoon Park, Seung Jae Moon
Journal of Mechanical Science and Technology, 2025
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Characteristics of inductively coupled plasma radio frequency ion sources in commercial ion implanters
Jong Jin Hwang, Hyo Jun Sim, Seung Jae Moon
Journal of Vacuum Science & Technology, 2025
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Sulfur wavelength and concentration analysis via preprocessing with laser-induced breakdown spectroscopy measurement data
Choong-Mo Ryu, Seung Jae Moon
Journal of Mechanical Science and Technology, 2025
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Laser Shockwave Cleaning of Electrodes in Energy Purity Module
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반도체 RTP 공정 개선을 위한 다중파장 레이저 기반의 고범용성 Quartz 투과율 분석 시스템 구축
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Quartz Transmittance analyzer using multi-wavelength laser