제작이 용이한 4중극 렌즈층의 소스렌즈를 포함하는 초소형 전자칼럼(MICRO-COLUMN HAVING A SOURCE LENS WHICH COMPRISES FOUR ELECTRODES FOR EASY FABRICATION)

Micro-column with double aligner

Ultra-miniaturized electron optical microcolumn

더블 어라인너를 구비한 초소형 컬럼(MICRO-COLUMN WITH DOUBLE ALIGNER)

콤팩트 초소형 전자 광학 컬럼(COMPACT MICRON ELECTRON OPTICAL COLUMN)

초소형 전자 광학 칼럼(MICRON ELECTRON OPTICAL COLUMN)

Multi-particle beam column having an electrode layer including an eccentric aperture

어퍼쳐 주위에 볼록부 또는 오목부를 구비하는 정전 전극(ELECTROSTATIC ELECTRODE HAVING CONVEXITIES OR CONCAVITIES AROUND THE APERTURE THEREOF)

편심 어퍼쳐를 가진 전극층을 포함하는 멀티 입자 빔 칼럼(A multi-particle beam column having an electrode layer including an eccentric aperture)

초소형 전자기파 발생 모듈(Miniaturized electron laser module)