반도체 식각 및 증착 제조 공정 3차원 해석 프로그램

플라즈마 중합법을 이용하여 기능화된 나노와이어가 구비된 바이오센서 및 그 제조방법

나노와이어의 제조방법 및 나노와이어 수소센서

정렬된 나노와이어의 제조방법 및 나노와이어 응용소자

촉매슬러리 분사장치

ICP를 이용한 초전도체 자속흐름 트랜지스터 제조

플라즈마를 이용한 Y-Ba-Cu-O 초전도체의 미세패터닝 및 소자제작